Китайский производитель и завод вакуумных насосов
China Vacuum Pumps Factory
Дом / Продукция / Вакуумные насосы
О Зениксе
Shanghai Zenix Vacuum Coating Technology Co., Ltd.
Shanghai Zenix Vacuum Coating Technology Co., Ltd.
Компания Zenix Vacuum Coating Technology была основана в 1985 году и является высокотехнологичным предприятием, специализирующимся на НИОКР, производстве и технологических решениях для оборудования для вакуумного нанесения покрытий.

Первоначально основанная как шанхайский филиал завода PLA 9570, компания за десятилетия превратилась в профессионального производителя оборудования для вакуумного нанесения покрытий и поставщика решений, обслуживающего мировой рынок.

Как Китай Vacuum Pumps Factory и Обычай China Vacuum Pumps ManufacturerМы предлагаем комплексные решения по вакуумному покрытию для клиентов по всему миру, включая твердые покрытия, декоративные покрытия и функциональные системы покрытий, включая передовые технологии, такие как DLC и Ta-C. Кроме того, мы предлагаем сопутствующие запасные части, целевые показатели и комплексные услуги технической поддержки.
Почетная грамота
  • Патентное свидетельство на полезную модель
  • Патентное свидетельство на полезную модель
  • Патентное свидетельство на полезную модель
  • Патентное свидетельство на полезную модель
  • Патентное свидетельство на полезную модель
  • Патентное свидетельство на полезную модель
Новости и информация
Следите за нами, чтобы быть в курсе последних новостей компании и отрасли.
  • Sep.01.2026
    Как машина для нанесения твердого покрытия PVD продле...
    Торцевая фреза из твердого сплава без покрытия, режущая штамповую сталь 42CrMo4, обычно достигает предела износа через 20–30 минут. Пропустите тот же инструмент через цикл TiAlN на машине для нанесения твердых покрытий PVD, и боковой изно...
  • Sep.01.2026
    PVD против CVD: как выбрать правильную технологию вак...
    Руководство по технологии вакуумного покрытия — PVD против CVD Выбор между PVD и CVD обычно сводится к одному числу, прежде чем будет открыт какой-либо технический паспорт покрытия: температура процесса. Линия PVD осаждает TiAlN при темпе...
  • Sep.01.2026
    Твердое покрытие и декоративное покрытие: основные ра...
    Завод, покрывающий 30 000 твердосплавных вставок в месяц, не может достичь такого объема на испарительной линии, а оптическая мастерская, которой требуется 200 нм алюминия на 1000 линзах за партию, не должна закупать мишени для распыления...
  • Sep.01.2026
    Как выбрать вакуумный насос для системы покрытия PVD:...
    Две расценки на один и тот же инструмент магнетронного распыления среднего размера, используемый для нанесения покрытий методом физического осаждения из паровой фазы (PVD), могут отличаться более чем на 20 000 долларов США, а зазор обычно...
Вакуумные насосы Знание отрасли

Вакуумные насосы для систем PVD-покрытий

Shanghai Zenix Vacuum Coating Technology Co., Ltd. — китайская компания Производитель вакуумных насосов с почти 40-летним опытом работы с оборудованием для вакуумного нанесения покрытий. Наша линейка вакуумных насосов разработана с учетом высоких требований к откачке и технологическим процессам для систем твердого покрытия PVD, декоративного покрытия и функционального покрытия. Мы поставляем насосы, которые формируют критическую переднюю ступень, обеспечивая быструю откачку, стабильное базовое давление и надежную работу в непрерывных производственных циклах.

Как преданный своему делу Поставщик вакуумных насосовМы специализируемся на решениях с механическими насосами / насосами переднего плана, которые напрямую интегрируются с нашими машинами для нанесения покрытий, а также могут быть адаптированы для существующих вакуумных систем. Наша инженерная группа выбирает и настраивает каждый насос в зависимости от объема камеры, целевой газовой нагрузки, требуемого предельного давления и рабочего цикла процесса.

Наш ассортимент вакуумных насосов

В настоящее время мы предлагаем одно основное семейство продуктов в этой категории с вариантами конфигурации, соответствующими различным размерам PVD-систем и требованиям к процессам.

Механический насос / Передний насос

Этот насос служит первичной черновой и опорной ступенью для высоковакуумных насосов, таких как диффузионные, турбомолекулярные или корневые насосы. Он быстро снижает давление в камере от атмосферного до диапазона 0,1–0,01 Па, создавая стабильную среду на передней линии для всей насосной установки.

  • Высокая скорость откачки для быстрого времени цикла
  • Прочная конструкция для непрерывной промышленной эксплуатации
  • Масляная поворотная лопатка или аналогичная проверенная технология
  • Возможность настройки для высокой скорости откачки, низкого уровня шума или защиты от коррозии

Применение Подходит для всех процессов нанесения покрытия

Наши вакуумные насосы подобраны с учетом конкретных требований различных областей применения PVD-покрытий. В таблице ниже обобщены типичные требования к процессу и то, как наши конфигурации насосов их удовлетворяют.

Тип покрытия Типичное базовое давление Роль насоса Фокус конфигурации Zenix
Твердые покрытия (TiN, TiAlN, CrN, DLC) 10⁻³ – 10⁻⁴ Па Передняя линия для турбомолекулярного/диффузионного насоса Высокая пропускная способность, низкий уровень обратного потока
Декоративные покрытия (ZrN, TiCN, Cr) 10⁻² – 10⁻³ Па Черновая обработка и подложка Быстрое время цикла, контроль масляного тумана
Функциональные покрытия (ЭМИ, оптические) 10⁻³ – 10⁻⁵ Па Передняя линия для высоковакуумного насоса Низкая вибрация, чистая работа

Инжиниринг и обеспечение качества

Наши вакуумные насосы изготовлены из высокопрочных сплавов и прошли современную термическую обработку основных компонентов, что позволяет достичь среднего срока службы более 20 000 часов в обычных промышленных условиях. Мы оптимизируем конструкцию масляного контура и уплотнений для снижения энергопотребления и выбросов, снижая долгосрочные эксплуатационные расходы.

Перед отправкой каждый насос проходит заводские испытания. Мы проверяем предельное давление, скорость перекачки, уровень шума и герметичность. Наш контроль качества включает обнаружение утечек гелия и сравнение производительности с эталонными стандартами. Насосы упакованы в защитные чехлы и осушитель для предотвращения загрязнения во время транспортировки.

Интеграция с машинами для нанесения покрытий

Наши вакуумные насосы предназначены для бесшовной интеграции с Машина для нанесения твердого покрытия PVD, Системы декоративных PVD-покрытий и функциональных покрытий. Мы предоставляем необходимые впускные/выпускные фланцы, фильтры масляного тумана и виброизоляционные крепления. Для существующих установок мы можем поставлять сменные насосы с соответствующими интерфейсами и эксплуатационными характеристиками.

Мы также предлагаем поддержку при вводе в эксплуатацию, включая проверку кривой откачки, проверку утечек и обучение операторов процедурам технического обслуживания.

Информация, которую мы используем для настройки вашего решения

Для подготовки точного предложения нам обычно требуются следующие детали проекта:

  • Объем камеры и необходимое время эвакуации
  • Целевое предельное давление и нагрузка технологического газа
  • Тип покрытия (твердое, декоративное, функциональное) и материалы подложки
  • Существующая модель высоковакуумного насоса и требования к поддержке
  • Доступные коммунальные услуги: электроснабжение, охлаждающая вода, сжатый воздух
  • Условия установки: класс чистого помещения, температура окружающей среды, пределы шума
  • Требуемая документация и критерии приемки

Техническое обслуживание и запасные части

Мы поставляем оригинальные запасные части, включая масло, фильтры, уплотнения и лопасти. Наша сервисная команда может предоставить графики профилактического обслуживания и удаленного устранения неполадок. Для клиентов по всему миру мы координируем работу с местными сервисными партнерами, чтобы обеспечить своевременную поддержку.

Часто задаваемые вопросы

Какие типы вакуумных насосов поставляет Zenix?

В настоящее время мы поставляем решения в области механических насосов / насосов переднего хода, оптимизированные для систем покрытия PVD. Эти насосы служат черновой и опорной ступенями для высоковакуумных насосов.

Можно ли использовать ваши насосы с существующими машинами для нанесения покрытий других марок?

Да, наши насосы могут быть сконфигурированы со стандартными фланцевыми интерфейсами и эксплуатационными характеристиками для замены или дополнения насосов в существующих вакуумных системах. Для подтверждения совместимости нам понадобятся текущая модель насоса и технические характеристики системы.

Каков типичный срок службы ваших механических насосов?

При нормальных условиях эксплуатации и надлежащем техническом обслуживании средний срок службы наших насосов превышает 20 000 часов. Фактический срок службы зависит от технологических газов, рабочего цикла и интервалов замены масла.

Оказываете ли вы поддержку при установке и вводе в эксплуатацию?

Да, мы предлагаем поддержку при вводе в эксплуатацию, включая проверку кривой откачки, проверку на герметичность и обучение операторов. Также доступна удаленная помощь.

Какая документация прилагается к насосу?

Каждый насос поставляется с руководством по эксплуатации, руководством по техническому обслуживанию и отчетом об испытаниях. По запросу мы также можем предоставить сертификаты материалов и документацию о соответствии.