Shanghai Zenix Vacuum Coating Technology Co., Ltd. — китайская компания Производитель вакуумных насосов с почти 40-летним опытом работы с оборудованием для вакуумного нанесения покрытий. Наша линейка вакуумных насосов разработана с учетом высоких требований к откачке и технологическим процессам для систем твердого покрытия PVD, декоративного покрытия и функционального покрытия. Мы поставляем насосы, которые формируют критическую переднюю ступень, обеспечивая быструю откачку, стабильное базовое давление и надежную работу в непрерывных производственных циклах.
Как преданный своему делу Поставщик вакуумных насосовМы специализируемся на решениях с механическими насосами / насосами переднего плана, которые напрямую интегрируются с нашими машинами для нанесения покрытий, а также могут быть адаптированы для существующих вакуумных систем. Наша инженерная группа выбирает и настраивает каждый насос в зависимости от объема камеры, целевой газовой нагрузки, требуемого предельного давления и рабочего цикла процесса.
В настоящее время мы предлагаем одно основное семейство продуктов в этой категории с вариантами конфигурации, соответствующими различным размерам PVD-систем и требованиям к процессам.
Этот насос служит первичной черновой и опорной ступенью для высоковакуумных насосов, таких как диффузионные, турбомолекулярные или корневые насосы. Он быстро снижает давление в камере от атмосферного до диапазона 0,1–0,01 Па, создавая стабильную среду на передней линии для всей насосной установки.
Наши вакуумные насосы подобраны с учетом конкретных требований различных областей применения PVD-покрытий. В таблице ниже обобщены типичные требования к процессу и то, как наши конфигурации насосов их удовлетворяют.
| Тип покрытия | Типичное базовое давление | Роль насоса | Фокус конфигурации Zenix |
|---|---|---|---|
| Твердые покрытия (TiN, TiAlN, CrN, DLC) | 10⁻³ – 10⁻⁴ Па | Передняя линия для турбомолекулярного/диффузионного насоса | Высокая пропускная способность, низкий уровень обратного потока |
| Декоративные покрытия (ZrN, TiCN, Cr) | 10⁻² – 10⁻³ Па | Черновая обработка и подложка | Быстрое время цикла, контроль масляного тумана |
| Функциональные покрытия (ЭМИ, оптические) | 10⁻³ – 10⁻⁵ Па | Передняя линия для высоковакуумного насоса | Низкая вибрация, чистая работа |
Наши вакуумные насосы изготовлены из высокопрочных сплавов и прошли современную термическую обработку основных компонентов, что позволяет достичь среднего срока службы более 20 000 часов в обычных промышленных условиях. Мы оптимизируем конструкцию масляного контура и уплотнений для снижения энергопотребления и выбросов, снижая долгосрочные эксплуатационные расходы.
Перед отправкой каждый насос проходит заводские испытания. Мы проверяем предельное давление, скорость перекачки, уровень шума и герметичность. Наш контроль качества включает обнаружение утечек гелия и сравнение производительности с эталонными стандартами. Насосы упакованы в защитные чехлы и осушитель для предотвращения загрязнения во время транспортировки.
Наши вакуумные насосы предназначены для бесшовной интеграции с Машина для нанесения твердого покрытия PVD, Системы декоративных PVD-покрытий и функциональных покрытий. Мы предоставляем необходимые впускные/выпускные фланцы, фильтры масляного тумана и виброизоляционные крепления. Для существующих установок мы можем поставлять сменные насосы с соответствующими интерфейсами и эксплуатационными характеристиками.
Мы также предлагаем поддержку при вводе в эксплуатацию, включая проверку кривой откачки, проверку утечек и обучение операторов процедурам технического обслуживания.
Для подготовки точного предложения нам обычно требуются следующие детали проекта:
Мы поставляем оригинальные запасные части, включая масло, фильтры, уплотнения и лопасти. Наша сервисная команда может предоставить графики профилактического обслуживания и удаленного устранения неполадок. Для клиентов по всему миру мы координируем работу с местными сервисными партнерами, чтобы обеспечить своевременную поддержку.
В настоящее время мы поставляем решения в области механических насосов / насосов переднего хода, оптимизированные для систем покрытия PVD. Эти насосы служат черновой и опорной ступенями для высоковакуумных насосов.
Да, наши насосы могут быть сконфигурированы со стандартными фланцевыми интерфейсами и эксплуатационными характеристиками для замены или дополнения насосов в существующих вакуумных системах. Для подтверждения совместимости нам понадобятся текущая модель насоса и технические характеристики системы.
При нормальных условиях эксплуатации и надлежащем техническом обслуживании средний срок службы наших насосов превышает 20 000 часов. Фактический срок службы зависит от технологических газов, рабочего цикла и интервалов замены масла.
Да, мы предлагаем поддержку при вводе в эксплуатацию, включая проверку кривой откачки, проверку на герметичность и обучение операторов. Также доступна удаленная помощь.
Каждый насос поставляется с руководством по эксплуатации, руководством по техническому обслуживанию и отчетом об испытаниях. По запросу мы также можем предоставить сертификаты материалов и документацию о соответствии.